三维光学轮廓仪

三维光学轮廓仪颠覆传统，将共聚焦、干涉和多焦面添加3种测量技术融合于一体，测量头内无运动部件。3D光学轮廓仪S neox 为客户展现全新的3D立体形貌。

S neox采用Sensofar设计的Microdisplay共聚焦扫描技术。Microdisplay使用FLCOS原理，可实现无需机械运动的快速共聚焦扫描。它具有高速、稳定和无限使用时间的特点。现有的其他品牌共聚焦显微镜都采用镜片震动扫描的方式，因为有机械震动会造成测量时抖动，使用时间也有限。

三维光学轮廓仪的特点：

1. 多波长的LED光源

   S neox有4个独立的LED光源红色、绿色、蓝色和白色，可以满足各种应用的需要。

2. 惊艳的图片质量

   S neox采用1360×1024的高分辨率CCD，显示分辨率达2560×1440像素。图像锐利、生动、无延迟。

3. 顺序照明的彩色图像

   在扫描时红、绿、蓝三色LED交替照明，并将三张彩色的图片还原成一幅高分辨率的彩色图像。相比其他品牌采用像素插值算法，S neox获得的图片色彩保真度和还原性要更胜*。

4. 栩栩如生的3D形貌呈现清晰的纳米世界

  彩色共聚焦观察方式使用户能在视场内观察到纳米级的细节。

5. 难以置信的3D扫描速度

   一次完整的3D扫描时间还不到10秒。用扫描速度扫描低反射率的样品时，3D扫描时间将少于3秒。

6. 高质量的物镜，好的成像质量

  S neox的水平分辨率和纵向分辨率要比激光共聚焦显微镜更优，达到了光学显微镜系统的极限。

SensoSCAN测量及分析软件：

1. 省时省力

   SensoSCAN是一款简洁友好的操作软件。在软件界面内，用户可以直观明确地了解所用的测量方式，同时还能显示和分析数据。

2. 完善系统的*工具

  导航预览功能可以自动地帮助用户在准备测量前大范围观察样品，找到测量点。当转换倍数时，预览图上也会实时显示当前的观察点位置。

3. 智能编程，全自动测量

  全自动测量是一项标准功能，通过它用户能轻易地实现可定制的质量管控。对在线测量来说，用户可以方便地实现产品ID输入、自动走位测量、自动数据输出和‘pass和fail’判断。

4. 快速完成测量计算

  *的算法使S neox能在放置样品后不到一分钟就给出结果。所有的数据都是我们专注于质量和高性能的成果。

5. 强大的专业分析软件

   增配SensoPRO或SensoMAP软件就能轻易实现全自动测量和分析。

应用：

S neox是一款多用途的设备，可以满足您的各种应用要求，在半导体、生物医药和生物技术产业里起到关键作用。