Sensofar光学轮廓仪的测量原理--三合一技术

Sensofar 光学轮廓仪作为一台具有高性能的3D 测量设备，超越了现有的一切光学轮廓仪。Sensofar 光学轮廓仪 结合了三大技术——共聚焦（适用于高斜率表面）、干涉（有高的垂直分辨率）和多焦面叠加（在短短几秒内测量形貌特征），将三大技术集于一体，且不用任何运动部件。

共聚焦

共聚焦轮廓仪能测量从较光滑到非常粗糙的表面，空间采样精细至0.10 μm，是关键尺寸测量的理想选择。高数值孔径（0.95）和高放大倍率（150X）的物镜可用于测量局部斜率超过70° 的光滑表面以及斜率高达86° 的粗糙表面。Sensofar的共聚焦算法能实现纳米级的垂直方向重复性。

干涉

白光干涉（VSI）能测量从光滑到适度粗糙的表面，可在所有数值孔径下实现纳米级的垂直分辨率。因此，S neox 能使用所有可用的放大倍率在不影响高度分辨率的情况下显示三维形貌特征。

相位差干涉（PSI）能测量非常光滑和连续的表面，可在所有数值孔径下实现纳米级的垂直分辨率。用极小的放大倍率（2.5X）能在不影响高度分辨度的情况下采集较大的视场范围。

多焦面叠加

多焦面叠加是设计用于测量大面积粗糙表面的光学技术。Sensofar 采用该方法专门用于补足放大倍率较低的共聚焦测量。该技术的亮点包括高斜率表面（高达86°）、快的测量速度（mm/s）和较大的垂直扫描范围。这些特性的结合十分适用于工具加工的应用。